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问答题

简答题 薄膜要有良好的附着力,必须具有哪些基本特性?

【参考答案】

(1)接口层原子之间须有强的化学键结,最好是有化合物的形成或化学吸附,理吸附是不够的
(2)低的残存应力,这可能导因于镀膜和基材晶格或热膨胀系数的失配,也可能是薄膜本身存有杂质或不良结构
(3)没有容易变形的表结构,如断层结构,具有机械粗糙的表面是可以减低问题的恶化
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