简答题 使用CVD法成长钻石薄膜，氢元素和碳元素的浓度有何重要性？

【参考答案】

CVD生长钻石膜的瓶颈乃在避免碳氢化物形成石墨，因此氢原子应比碳源多很多。碳源浓度决定了钻石膜的生长速率，但碳源太高时氢原子会来不及维护钻石结构而使分解出的碳变成石墨。因此碳源太浓反而会降低转化成钻石的比率。碳源的浓度和温度决定了钻石随方向生长速率的差异，因此也决定了钻石的晶形。氢原子的浓度不仅决定......

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