大致上可分为原位量测、离位量测两类 原位星测系指镀膜进行中量测，普遍使用在物理气相沉积，如微天平、光学、电阻量测。 离位量测系指镀膜完成后量测，对电镀膜的行使较为普遍，具有了解电镀效率的目的，如质量、剖面计、扫描式电子显微镜。
问答题薄膜要有良好的附着力，必须具有哪些基本特性？
问答题沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？
问答题良好的薄膜须具备哪些特性？影响的因素有哪些？
问答题何为化学气相蒸镀（CVD）？主要的优缺点有哪些？
问答题使用CVD法成长钻石薄膜，氢元素和碳元素的浓度有何重要性？
