问答题

简答题试说明CVD法生长钻石薄膜之特性？

【参考答案】

为使CVD的钻石生长顺利，碳源常用已具钻石结构的甲烷。甲烷可视为以氢压出的单原子钻石。所以故煮饭时的煤气含大量悬浮的单原子钻石或DLC。甲烷分解时若氢原子可在附近若即若离的伴随，沉积出的碳可维持钻石的结构，并接合在钻石膜上而不同再转化成石墨。

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