简答题 何为化学气相蒸镀（CVD）？主要的优缺点有哪些？

【参考答案】

化学气相蒸镀乃使用一种或多种气体，在一加热的固体基材上发生化学反应，并镀上一层固态薄膜。
优点：
（1）真空度要求不高，甚至可以不需要真空，例如热喷覆
（2）沉积速率快，大气CVD可以达到1μm/min
（3）与PVD比较的话。化学量论组成或合金的镀膜较......

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