A.190度B.157度C.180度D.175度
多项选择题互连工艺中AL的制备可选用（）。
A.电镀B.CVDC.MBED.PVD
多项选择题金属化中可选用的金属材料有（）。
A.银B.金C.铝D.铜
单项选择题进行沟槽填充常用的金属材料是（）。
A.铜B.铝C.钨D.金
单项选择题化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）
A.还原剂B.分散剂C.腐蚀介质D.磨料
多项选择题CMP的设备构成包括（）。
A.台板B.抛光液C.抛光垫D.夹持设备
