问答题设计制备NMOSFET的工艺，并画出流程图。
问答题简述光刻的工艺过程。
问答题集成电路工艺主要分为哪几大类，每一类中包括哪些主要工艺，各工艺的主要作用是什么？
问答题氧化硅的主要作用有哪些？
问答题集成电路工艺划分为哪些？
