问答题设计制备NMOSFET的工艺,并画出流程图。
问答题简述光刻的工艺过程。
问答题集成电路工艺主要分为哪几大类,每一类中包括哪些主要工艺,各工艺的主要作用是什么?
问答题氧化硅的主要作用有哪些?
问答题集成电路工艺划分为哪些?
问答题什么是退火?
问答题简述反应离子刻蚀。
问答题什么是等离子刻蚀?
问答题简述溅射与离子束铣蚀。
问答题什么是干法刻蚀?
问答题简述湿法刻蚀。
问答题什么是刻蚀技术?
问答题对光刻的基本要求有哪些?
问答题简述几种常见的光刻方法。
问答题负胶是怎样的?