问答题MEMS定义是什么？
问答题设计制备NMOSFET的工艺，并画出流程图。
问答题简述光刻的工艺过程。
问答题集成电路工艺主要分为哪几大类，每一类中包括哪些主要工艺，各工艺的主要作用是什么？
问答题氧化硅的主要作用有哪些？
问答题集成电路工艺划分为哪些？
问答题什么是退火？
问答题简述反应离子刻蚀。
问答题什么是等离子刻蚀？
问答题简述溅射与离子束铣蚀。
问答题什么是干法刻蚀？
问答题简述湿法刻蚀。
问答题什么是刻蚀技术？
问答题对光刻的基本要求有哪些？
问答题简述几种常见的光刻方法。
