简答题 根据基片应变里求薄膜变形量的方法有哪些？

【参考答案】

（1）把基片一端固定，求出膜生长时产生的自由端位移d；
（2）使用圆形基片，从牛顿环的移动量求出d；
（3）将基片一端固定，在膜生长时，在基片自由端加力，测出阻止基片变形所需力的大小；
（4）触针法：在定方向上移动触针，测得薄膜沉积前后基片的变形量；
（5）单......

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