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问答题

简答题 薄膜应力有哪两类,它们各自形成的原因是什么?

【参考答案】

薄膜应力可以分为外应力和内应力。
薄膜外应力包括外界所施加的应力,基片和薄膜热膨胀不同所导致的应力和薄膜和基片共同受到塑性变形所弓
起的应力,而薄膜内应力则是薄膜的内禀性质,它形成的主要原因是薄膜生长中的热收缩、晶格错配或杂质的存在、相变、表面张力等因素。