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问答题

简答题 当薄膜的厚度tf相对和基片的厚度ts很小时,薄膜和基片膨胀系数的相对大小对薄膜应力的性质的影响如何?当应力过大时薄膜会产生何现象?

【参考答案】

(1)当af>as时,薄膜则存在拉应力;
(2)而当af当薄膜受到压应力作用时,薄膜一般会出现起皱、起泡和剥离现象,而当薄膜受到拉应力作用时,则会出现裂纹直至断裂等现象。