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单项选择题

A.氦气B.氩气C.氮气D.氢气氦质谱检漏工艺步骤如下:将器件置于压力箱中并抽低真空;给压力箱充()并保持一段……

氦质谱检漏工艺步骤如下:将器件置于压力箱中并抽低真空;给压力箱充()并保持一段时间;取出器件将表面吸附的氦气体吹掉。

A.氦气
B.氩气
C.氮气
D.氢气

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