问答题
简答题 磁控靶表面的磁场强度是多少？
【参考答案】
水平磁场的强度约300-500GS。电子在靶表面做旋轮线运动，其旋轮半径
，磁场的大小应使r大小落在靶表面的阴极位降范围，才能使电子的电离作用得到最大的发挥。因为阴极位降区是放电能够维持的主要电离区域。