成膜温度越高，膜层晶粒越大。

判断题真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。

判断题PVD的优点是阶梯覆盖能力强。

多项选择题Endura5500 degas腔的作用为（）。

A.除湿气，增加结合力
B.转向，确保wafer角度一致
C.去除晶圆表面的自然氧化层
D.使晶圆表面温度迅速冷却

多项选择题TiN膜的三个用途包括（）。

A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电
B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光
C.钨塞制程中作为钨的粘附层
D.提升刻蚀的速率和均匀性

多项选择题在线使用的靶材主要有（）。

A.AlSi
B.Ti/TiN
C.AlCu
D.纯Al