判断题PVD的优点是阶梯覆盖能力强。
多项选择题Endura5500 degas腔的作用为（）。
A.除湿气，增加结合力B.转向，确保wafer角度一致C.去除晶圆表面的自然氧化层D.使晶圆表面温度迅速冷却
