简答题 试说明MOS IC中器件之间是如何隔离的，并说明器件隔离的主要作用和基本方法。

【参考答案】

如何隔离：由于MOS晶体管之间不共享电器件，所以器件本身就是被pn结隔离；但器件会存在漏电流以及寄生的场效应晶体管，所以又进行氧化物隔离来阻止漏电流以及防止寄生场效应晶体管开启。
主要作用：阻止漏电流，防止寄生型场效应晶体管开启。
基本方法：增加场区氧化层的厚度；增大氧化层下沟道......

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