简答题 试描述标准埋层双极晶体管工艺的主要流程并说明光刻掩膜版的作用。

【参考答案】

衬底准备（P型）——氧化——光刻n+埋层区——n+埋层区注入——清洁表面——生长n-外延——隔离氧化——光刻p+隔离区—......

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