问答题简述几种常用的氧化方法及其特点。
问答题什么是两步扩散工艺,其两步扩散的目的分别是什么?
问答题假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
问答题以P2O5为例,多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
问答题写出菲克第一定律和第二定律的表达式,并解释其含义。