以P2O2为例说明SiO2的掩蔽过程。
问答题说明SiO2的结构和性质，并简述结晶型SiO2和无定形SiO2的区别。
问答题简述几种常用的氧化方法及其特点。
问答题什么是两步扩散工艺，其两步扩散的目的分别是什么？
问答题假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
问答题以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
