问答题假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
问答题以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
问答题写出菲克第一定律和第二定律的表达式，并解释其含义。
问答题杂质原子的扩散方式有哪几种？它们各自发生的条件是什么？从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
问答题集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺？各有什么优缺点？
