问答题杂质原子的扩散方式有哪几种?它们各自发生的条件是什么?从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
问答题集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺?各有什么优缺点?
问答题分别简述RVD和GILD的原理,它们的优缺点及应用方向。