薄膜：指某一维尺寸远小于另外两维上的尺寸的固体物质。 好的台阶覆盖能力 、高的深宽比填隙能力（>3：1） 厚度均匀（避免针孔、缺陷）、高纯度和高密度、受控的化学剂量 结构完整和低应力、好的粘附性（避免分层、开裂致漏电）
问答题立式炉系统的五部分是什么？例举并简单描述。
问答题热生长SiO2 – Si系统中的电荷有哪些？
问答题影响氧化速度的因素有哪些？
问答题描述热氧化过程。
问答题说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
