（1）晶核形成 分离的小膜层形成于衬底表面，是薄膜进一步生长的基础。 （2）凝聚成束 形成（Si）岛，且岛不断长大 （3）连续成膜 岛束汇合并形成固态的连续的薄膜 淀积的薄膜可以是单晶（如外延层）、多晶（多晶硅栅）和无定形（隔离介质，金属膜）的
问答题什么是薄膜？
问答题立式炉系统的五部分是什么？例举并简单描述。
