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问答题

简答题 详述薄膜生长过程中具有明显特征的生长顺序(沉积阶段)。

【参考答案】

(1)首先形成无序分布的三维核,然后少量的沉积物迅速达到饱和密度,这些核随后形成所观察到的岛,岛的形状由界面能和沉积条件决定。整个生长过程受扩散控制,即吸附和亚临界原子团在基片表面扩散并被稳定岛俘获。
(2)当岛通过进一步沉积而增大尺寸时,岛彼此靠近,大岛似乎以合并小岛而生长。岛密度以沉积条......

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