问答题有机金属化学气相沉积的特点有哪些?
问答题低压溅射的主要优点有哪些?
问答题磁控溅射具有的两大特点和需要优化的主要实验参数有哪些?
问答题溅射原子的能童分布一般呈何分布,溅射原子的能量和速度具有哪些特点?
问答题简述溅射率的影响因素。