（1）高的沉积温度； （2）气相原子的高的动能，对于热蒸发意味着高沉积率； （3）气相入射的角度增加。 这些结论假设凝聚系数为常数，基片具有原子级别的平滑度。
问答题详述薄膜生长过程中具有明显特征的生长顺序（沉积阶段）。
问答题有机金属化学气相沉积的特点有哪些？
问答题低压溅射的主要优点有哪些？
问答题磁控溅射具有的两大特点和需要优化的主要实验参数有哪些？
问答题溅射原子的能童分布一般呈何分布，溅射原子的能量和速度具有哪些特点？
