判断题由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。
判断题只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。
判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。
判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。
判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。
