常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

判断题由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

判断题只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。

判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。

判断题离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。

填空题通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。

填空题在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

填空题金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。

填空题电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。

填空题离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。

判断题爆炸成形适合于大批量的小型简单工件加工。