判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。
判断题由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。
