找考题网-背景图

问答题

简答题简述层间清洗的作用。

【参考答案】

背沟道阻挡结构中第一层的SiO_x绝缘膜制作完成后加了一道清洗。两层绝缘膜之间加的这次清洗称为层间清洗，作用是为减少针孔。

<上一题目录下一题>

热门试题

问答题述5次光刻中第5次像素电极光刻形成的ITO的作用。

问答题简述沟道切断的作用。

问答题简述4次光刻的工艺流程。

问答题简述5次光刻的工艺流程。

问答题简述背沟道阻挡结构的优缺点。