问答题

简答题简述7次光刻的第二次光刻中O₂灰化的作用。

【参考答案】

O₂灰化是在4层CVD之后阻挡层i/sSiN_x膜的上面进行氧气O₂等离子体处理，把表面具有亲水性的i/sSiN薄膜变成疏水性的SiO_x薄膜，增强与光刻胶的附着性。

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