简答题 简述背沟道阻挡结构的优缺点。

【参考答案】

优点是a-Si：H层可以做得比较薄，一般厚度是300~500Å，薄膜的生产性好，关态电流很小；刻蚀选择比大，刻蚀条件宽松，工艺简单；缺点是比背沟道刻蚀型结构要多增加一次光刻，成本增加，节拍时间长。