填空题真空泵的空腔内有旋转活塞（转子），转子是一圆柱和镶嵌在圆柱切口中的两个平板A和B组成，平板之间装有弹簧，平板紧贴真空泵圆柱形的空腔壁，形成抽气空间，转子的转轴在空腔几何轴线上垂直偏高的位置，空腔内装有机械泵油。这种结构的真空泵叫做（）。
填空题加热电源通过控制柜后进入变压器把220伏（或380伏）电压变成（），送入直拉单晶炉的电极。
填空题直拉单晶炉电气部分的（），控制整个直拉单晶炉安全正常运转，真空测量和加热功率的变化。
填空题直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的（），通过它把电流输送给控制柜。
填空题直拉单晶炉的电极一般由（）制成，两层形成环状，内部通水。
