填空题电极装在炉膛底部,它的作用是支撑(),用于传递强大电流,使被支撑件发热,熔化多晶硅。
填空题炉膛的样式比较多,大体上分()和()两种形式。
填空题炉座一般由()制成,支撑整个炉体重量,炉膛装在炉座上面,()也装在炉座中。
填空题炉体由炉底座、炉膛、炉顶盖、副室、()、()、光学图像等直径监测器等部件组成。
填空题直拉单晶炉型式尽管不同,总的说来,主要由炉体、电气控制部分、()、()、()五大部分组成。