填空题直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的(),通过它把电流输送给控制柜。
填空题直拉单晶炉的电极一般由()制成,两层形成环状,内部通水。
填空题电极装在炉膛底部,它的作用是支撑(),用于传递强大电流,使被支撑件发热,熔化多晶硅。
填空题炉膛的样式比较多,大体上分()和()两种形式。
填空题炉座一般由()制成,支撑整个炉体重量,炉膛装在炉座上面,()也装在炉座中。