填空题加热电源通过控制柜后进入变压器把220伏(或380伏)电压变成(),送入直拉单晶炉的电极。
填空题直拉单晶炉电气部分的(),控制整个直拉单晶炉安全正常运转,真空测量和加热功率的变化。
填空题直拉单晶炉电气部分的配电盘是整个直拉单晶炉的(),通过它把电流输送给控制柜。
填空题直拉单晶炉的电极一般由()制成,两层形成环状,内部通水。
填空题电极装在炉膛底部,它的作用是支撑(),用于传递强大电流,使被支撑件发热,熔化多晶硅。