填空题直拉单晶炉的电极一般由（）制成，两层形成环状，内部通水。
填空题电极装在炉膛底部，它的作用是支撑（），用于传递强大电流，使被支撑件发热，熔化多晶硅。
填空题炉膛的样式比较多，大体上分（）和（）两种形式。
填空题炉座一般由（）制成，支撑整个炉体重量，炉膛装在炉座上面，（）也装在炉座中。
填空题炉体由炉底座、炉膛、炉顶盖、副室、（）、（）、光学图像等直径监测器等部件组成。
