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问答题

简答题 真空蒸发系统应包括那些组成部分?

【参考答案】

(1)真空室,为蒸发过程提供必要的真空环境
(2)蒸发源或蒸发加热器,放置蒸发材料并对其加热
(3)基板,用于接受蒸发物质并在其表面形成固态薄膜
(4)基板加热器及测温器等