简答题 为什么射频辉光放电的击穿电压和维持放电的工作电压均降低？

【参考答案】

产生射频放电时，外加电压的变化周期小于电离和消电离所需时间（一般在10^-6秒左右），等离子体浓度来不及变化。由于电子的质量小，很容易跟随外电场从射频场中吸收能量并在场内作振荡运动。因此增加了气体分子的碰撞几率，并使电离能力显著提高射频辉光放电的击穿电压只有直流辉光放电的1/10......

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