问答题应力分为压应力和张应力,下图的形状是由于哪种应力产生的?请在图上标出应力的方向。如果要让上面的结构材料变得平整,要怎么做?
问答题在MEMS加工中,为了精确控制腐蚀深度,有哪几种腐蚀停止技术,分别说一下其腐蚀停止原理。
问答题MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?
问答题分别画出单大马士革和双大马士革工艺流程图。
问答题在铜互连中,为什么要用铜扩散阻挡层?阻挡层分成哪几种,分别起什么作用?