问答题什么叫集成电路？写出集成电路发展的五个时代及晶体管的数量？
问答题应力分为压应力和张应力，下图的形状是由于哪种应力产生的？请在图上标出应力的方向。如果要让上面的结构材料变得平整，要怎么做？
问答题在MEMS加工中，为了精确控制腐蚀深度，有哪几种腐蚀停止技术，分别说一下其腐蚀停止原理。
问答题MEMSSi加工工艺主要分为哪两类，它们最基本的区别是什么？
问答题分别画出单大马士革和双大马士革工艺流程图。
