张应力(张的时候产生的应力)与压应力(压的时候产生的应力) 在张应力作用下,薄膜会相对衬底进行收缩•可能由薄膜与衬底的热膨胀系数差异引起•悬浮的薄膜如果是通过两个锚点与衬底相连,薄膜会被衬底拉伸而保持平整在压应力作用下,薄膜相对于衬底膨胀•悬浮的薄膜如果通过两个锚点与衬底相连,薄膜会弯曲
问答题在MEMS加工中,为了精确控制腐蚀深度,有哪几种腐蚀停止技术,分别说一下其腐蚀停止原理。
问答题MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?
问答题分别画出单大马士革和双大马士革工艺流程图。
问答题在铜互连中,为什么要用铜扩散阻挡层?阻挡层分成哪几种,分别起什么作用?
问答题从寄生电阻和电容、电迁移两方面说明后道工艺中(Back-End-Of-Line,BEOL)采用铜(Cu)互连和低介电常数(low-k)材料的必要性。