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多项选择题

‏硅恒定源扩散，在扩散温度硅的固溶度为Ns，在进行了40min扩散后，测得结深是1.5μm，若要获得2.0μm的结深，在原工艺基础上应再扩散多少分钟？硅表面杂质浓度是多少？（）

A.杂质表面浓度< Ns
B.杂质表面浓度=Ns
C.应再扩散71min
D.表面杂质浓度等于该工艺温度时硅的固溶度

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热门试题

单项选择题多晶硅薄膜通常采取哪种方法制备？（）

A.磁控溅射
B.VPE
C.LPCVD
D.APCVD

单项选择题‎基于LSS理论，离子注入受到靶原子核与电子的阻止，（）。

A.核阻止和电子阻止是独立的
B.核阻止本领>电子阻止本领
C.核阻止本领< 电子阻止本领
D.核阻止和电子阻止与入射离子能量无关