‏硅恒定源扩散，在扩散温度硅的固溶度为N_s，在进行了40min扩散后，测得结深是1.5μm，若要获得2.0μm的结深，在原工艺基础上应再扩散多少分钟？硅表面杂质浓度是多少？（）

单项选择题多晶硅薄膜通常采取哪种方法制备？（）

A.磁控溅射
B.VPE
C.LPCVD
D.APCVD

单项选择题‎基于LSS理论，离子注入受到靶原子核与电子的阻止，（）。

A.核阻止和电子阻止是独立的
B.核阻止本领>电子阻止本领
C.核阻止本领< 电子阻止本领
D.核阻止和电子阻止与入射离子能量无关

单项选择题‎CVD可分为低温工艺、中温工艺、高温工艺，不同温度制备的同种薄膜（如SiO2）的密度（）

A.温度升高，略有下降
B.与温度无关
C.温度升高，略有增加
D.都相同

单项选择题看图判断下列描述是否正确？（）

A.是有限源扩散，杂质浓度分布是高斯函数
B.是有限源扩散，杂质浓度分布是余误差函数
C.是恒定源扩散，杂质浓度分布是余误差函数
D.是恒定源扩散，杂质浓度分布是高斯函数

单项选择题关于硅的热氧化，下面哪种说法正确？（）

A.湿氧比干氧慢得多
B.氧化反应是在Si/SiO₂界面发生的
C.水汽氧化层比干氧氧化层致密
D.升高氧气（或水汽）分压不影响生长速率