A.四氯化硅氢还原法B.三氯氢硅氢还原法C.二氯氢硅烷法D.硅烷热分解法
单项选择题刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）
A.氧化B.离子注入C.光刻D.抛光
单项选择题注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
A.能量B.温度C.剂量D.质量
