A.氧化B.离子注入C.光刻D.抛光
单项选择题注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
A.能量B.温度C.剂量D.质量
单项选择题掺杂后退火时间一般在（）。
A.30~60分钟B.10~20分钟C.60~90分钟D.100~120分钟
单项选择题当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。
A.最低掺杂剂量B.临界剂量C.损伤剂量D.掺杂剂量
多项选择题下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）
A.CuB.PC.AgD.Au
多项选择题鸟嘴效应造成的不良影响有（）。
A.有效栅宽变窄B.电流减少C.电容增加D.电阻增大
