A.氧化B.离子注入C.光刻D.抛光刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）……

单项选择题注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）

A.能量
B.温度
C.剂量
D.质量

单项选择题掺杂后退火时间一般在（）。

A.30~60分钟
B.10~20分钟
C.60~90分钟
D.100~120分钟

单项选择题当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

A.最低掺杂剂量
B.临界剂量
C.损伤剂量
D.掺杂剂量

多项选择题下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）

A.Cu
B.P
C.Ag
D.Au

多项选择题鸟嘴效应造成的不良影响有（）。

A.有效栅宽变窄
B.电流减少
C.电容增加
D.电阻增大