A.接触式曝光B.接近式曝光C.扫描式曝光D.投影式曝光
多项选择题刻蚀的过程中，对刻蚀的要求是（）
A.图形的保真度高B.选择比越接近1：1越好C.均匀性好D.晶圆表面的洁净
多项选择题以下属于刻蚀环节质量要求的是（）
A.均匀性好B.图形保真度高C.选择比低D.洁净度高
