A.图形的保真度高B.选择比越接近1：1越好C.均匀性好D.晶圆表面的洁净
多项选择题以下属于刻蚀环节质量要求的是（）
A.均匀性好B.图形保真度高C.选择比低D.洁净度高
多项选择题最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括（）
A.硫酸B.氢氟酸C.双氧水D.去离子水
