A.均匀性好B.图形保真度高C.选择比低D.洁净度高
多项选择题最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括（）
A.硫酸B.氢氟酸C.双氧水D.去离子水
单项选择题（）可以通过带电粒子在盛场作用下做运动把粒子进行筛选，挑选出唯一需要注入的离子。
A.离子源B.磁分析器C.加速管D.终端系统
