A.选择合适的掩蔽膜B.在氧化前,将窗口处的硅腐蚀掉深度,再进行局部氧化C.退火D.高压氧化工艺
单项选择题湿氧氧化采用的氧化水温是()。
A.95度B.90度C.80度D.75度
单项选择题硅暴露在空气中,在室温下即可产生二氧化硅层,厚度约为()。
A.30nmB.10nmC.20nmD.25nm