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问答题

简答题 所谓“跳硅”,指熔硅在坩埚中沸腾现象。跳硅厉害时熔硅跳出坩埚外,飞溅在加热器、保温罩、石墨托碗和单晶炉壁上,使石墨器件损坏,严重硅跳会烧坏单晶炉底。分析产生跳硅的原因,并给出适当的解决办法?

【参考答案】

有三种情况可以产生硅跳:
1多晶硅中有氧化夹层或封闭的气泡;
2坩埚底部有封闭气泡;
3、熔硅时温度过高。
为了避免熔硅时产生硅跳,应仔细挑选多晶硅和石英坩埚,熔硅温度不要太高,一般在1500℃~1600℃,最好在流动气氛下熔料。处理挂边和搭桥时注意及时降温,防止熔硅温度过高产生硅跳。