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问答题

简答题 在单晶硅生产中,为什么要制取高纯水?

【参考答案】

单晶硅的生产过程中,多晶硅、坩埚、掺杂剂(元素或母合金)等原材料表面的清洁程度,对制备单晶硅的质量影响很大,严重影响单晶硅的质量参数。